新菱冷熱工業株式会社　クリーンルーム設備

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携帯電話やデジタルカメラの小型・高機能化を支えるモバイルデバイスの高度化により、ナノ単位の微細加工によるLSIの生産ニーズはますます高まりを見せています。その生産ラインでは、従来のパーティクル制御に加えて空気中の分子レベルの汚染物質に対する制御や微振動制御が重要になっています。新菱冷熱は、クリーンルームの構築にあたって、中央研究所の確かな技術力を背景に、最適なコストパフォーマンスを追及し、ナノスケールに対応する究極のクリーン環境をご提供します。

パーティクル制御、分子汚染制御、温湿度制御、気流制御、微振動制御など、最新のクリーンルームを構築する上で重要となる要素技術に対し、中央研究所で培った技術力が全面的にバックアップいたします。


空調システムの検証	実物大の検証実験が可能です。

分子汚染対策	極微量分析技術でアウトガスなどによる分子汚染を評価し、対策に貢献します。

微振動対策	施工時の品質チェックで微振動対策をより確実にします。

シミュレーション	スーパーコンピュータによるシミュレーションで、レイアウト変更による気流、温度への影響を事前にチェックします。

少品種少量生産が主流となった現在、ファブは短期間での立ち上げが必要となってきています。新菱冷熱の開発技術が工期短縮のお役に立ちます。


独自の工法	モジュール工法

検査工程の短縮	風量測定装置WINSPEC、自動フィルターリーク試験装置CLINDOC

新菱冷熱が開発したダイナミック型氷蓄熱システム「ザ・自由雪計」が、ランニングコスト低減のお役に立ちます。


氷蓄熱システム	「ザ・自由雪計」

24時間連続稼働のファブに対し、設備を適切に維持・管理するための中央監視システム、ファシリティマネジメントシステム、建設情報管理システムを提供します。


情報インテグレーション	総合情報システム三次元設計施工