生産装置の
ミニエンバイロメント化技術
ドライルーム内は低露点環境であっても製品を扱う際に人体から発生する大量の水分が製品に付着します。新菱冷熱は半導体工場や各種プラント工場で培ったミニエン化技術、アイソレーション技術でお客様の生産装置を新規、既存問わずミニエン化します。装置のミニエン化は空調設備のプロである新菱冷熱にご用命ください。
ハーフスーツ型ミニエンの主な特長
- 高いアイソレーション性能
- 高い自由度
- 高い安全性
- 高いコストパフォーマンス
ミニエン化の省コスト、省エネルギー事例
ドライルーム外形 | 6.0m×6.0m×3.0mH |
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給気露点温度 | -60℃ DP |
装置廻り環境 | -40℃ DP |
作業人員1名 | (100g/h) |
ドライルーム外形 | 6.0m×6.0m×3.0mH |
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給気露点温度 | -60℃ DP |
装置廻り環境 | -60℃ DP |
作業人員1名 | (100g/h) |
ミニエン外形 | 1.5m×1.5m×1.5mH |