電解水
エアワッシャー
システム
「AIR-ROCA^®E」

電解水エアワッシャーシステム
「AIR-ROCA^®E」とは

当社は、半導体・液晶工場などの製造環境向けに、電解水エアワッシャーシステム「AIR-ROCA^®E」を開発しました。このシステムは近年の酸性ガスの除去へのニーズに対応する高性能・環境配慮型のシステムです。

半導体・液晶工場のクリーンルームでは、製品の品質を保つため、粉じんの他にケミカル汚染物質への対策が必要です。エアワッシャーは、空気中のケミカル汚染物質を除去するシステムです。

「AIR-ROCA^®E」は、当社の省エネ型エアワッシャーに電解水を用いることで、酸性ガスの除去性能を大幅に向上させたシステムです。また、外気中の酸性ガス濃度の変動を自動的に検知し、最適な電解水量を供給する制御システム(特許第6746739号)を搭載しています。

「電解水エアワッシャー」の

ケミカルフィルタを用いない環境配慮型の
システム

電解水エアワッシャーの特長

エネルギー消費量24％減
CO2排出量15％減
ランニングコスト30％減
産業廃棄物ゼロ

電解水エアワッシャーシステム「AIR-ROCA^®E」には、ケミカルフィルタだけでなく、湿度を下げるための再熱機構の設置が不要です。また、制御機構（当社開発）によりシステムの最適な運転を可能にします。その結果、外調機全体の消費エネルギー量を約24％、CO₂排出量を15%、ランニングコストを30%と大きく削減することができます（当社従来型比）。
またケミカルフィルタを用いないため、活性炭の交換・廃棄が不要になり、産業廃棄物をゼロにできる環境配慮型のシステムです。

AIR-ROCA^®Eは外調機にケミカルフィルタを設置する場合に生じる以下の課題を全て解決します。

課題1ケミカルフィルタの除去性能を維持するためには、ケミカルフィルタ入口空気の相対湿度を低くする必要があり、再熱コイルを設けるため、消費エネルギー量が大きくなる。
課題2ケミカルフィルタの交換コストが高い。
課題3ケミカルフィルタにエステル系の有機物が吸着すると酢酸が、また、NOxが吸着すると亜硝酸や硝酸が発生するため、ケミカルフィルタがクリーンルームの汚染発生源になってしまう。
課題41～数年でケミカルフィルタの活性炭を交換する必要があり、その活性炭は産業廃棄物となる。処理風量100,000m³/hクラスの外調機から生じる活性炭の重量は1～数年の交換ごとに約1～2トンにもなる。
課題5ケミカルフィルタ交換時には外調機を停止する必要があり、クリーンルームの運用・保守が煩雑化する。