エアワッシャー
(省エネルギー型)

概要

エアワッシャーは、空気中の汚染物質を水で除去すると同時に、加湿を行う装置です。一定の温湿度が要求され、ケミカル成分除去が必要な半導体・液晶工場などの外調機に組み込まれています。しかし、従来のスプレー式のエアワッシャーには、以下のような問題点がありました。

1. 設備が大きい
2. キャリーオーバーによりカビが発生しやすい
3. ポンプ動力が大きい
4. 加湿時の予熱が大きい

当社では、独自の加湿材の開発により、これらの問題をすべて解決した滴下式のエアワッシャーを提供しています。また、近年ではエアワッシャーが蒸気加湿の代替として採用されるケースも増加しています。

エアワッシャー外観

性能・特長

プリーツ型加湿材

当社独自開発のプリーツ型加湿材により、省エネルギー・省スペースを実現します。主な特長・性能は下記の通りです (特許第4777946号、第5032516号、第5137878号) 。

1. 低圧損
2. 高飽和効率
3. 水の飛散がない
4. コンパクト (厚みが従来比2/3)

圧力損失※1		60Pa
飽和効率※1		95%
ケミカル除去性能※2	NH4+	90％以上
	SO42-	90％以上

※1 通過風速2.5m/s時の値
※2 当社イノベーションハブ (茨城県つくば市の外気導入) における実測値

他社製品との比較 (某工場での実績、風量95,000m³/h)

		当社	A社	B社
圧力損失［Pa］※3		55	102	155
飽和効率［%］※4		>98	95	>98
ケミカル除去性能※4	NH4+	>96	>93	>95
	SO42-	94	94	92

※3 直列2段設置時のデータ
※4 直列3段設置時のデータ

蒸気加湿に替わる省エネルギー加湿装置

冷凍機排熱や生産冷却水などの低温水を利用することにより、予熱に必要なエネルギーをゼロにできますので、蒸気加湿と比べ大幅な省エネルギー・省CO₂を実現できます。工事費用を2年で回収することも可能です。半導体工場、美術館・博物館など、広い用途に適用できます。

課題：蒸気加湿は消費エネルギー量が大きくなる。

主な導入事例

• 某液晶工場 (総処理風量：190,000m³/h)
• 某半導体工場 (総処理風量：266,000m³/h)
• 某半導体工場 (総処理風量：135,000m³/h)
• 某研究施設 (総処理風量：9,000m³/h)
• 某半導体開発施設 (総処理風量：135,000m³/h)
• 某液晶工場 (総処理風量：95,000m³/h)