TECH 06
クリーンルーム
〜高精度な空気をつくる技術〜
シャープ株式会社 亀山工場
半導体製品は、スマートフォン、ウェアラブル機器など情報通信技術を支えています。
そして半導体などの精密・光学機械の生産環境は、粉塵、温度、湿度、室圧、気流分布、分子汚染対策、微振動対策など、様々な技術が必要になります。
精密・光学機械の最適な生産環境を創る「分子汚染対策」
半導体製品は、目に見えない空気中の小さな塵や、化学物質があるとうまく作れません。そのため塵の侵入や化学物質の発生を抑える技術が必要になります。
必要な空間だけを高精度に空調する「ミニエンバイロメント」
工場全体ではなく、とくに大切な装置の廻りだけを1/100℃単位の高精度に空調することもできます。装置と製品を守りながら、空調のランニングコストを下げる技術です。
- 実績
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- シャープ株式会社亀山工場、凸版印刷株式会社三重第一工場B棟、スタンレー電気株式会社 秦野製作所1号館、アルスLSIテストセンター